【本文由“遼東_2022_12_20”推荐,来自《承包了全球一半眼镜片的县城,车间里装上了光刻机》评论区,标题为小编添加】
看原理介绍,还真是芯片的光刻机与蚀刻机整套,与制芯片同样的原理相近,只是没有后续的真空离子注入机及相关的氧化炉、还原炉等多个步骤。
有一种镜片叫菲涅尔镜透镜,很薄的平板,但能实现凹凸镜的效果,就是很多组的同心圆的环形沟漕组成。
用光刻机制作这种镜片,就是先在玻片表面均匀涂上光刻胶,然后用光刻机将环形的同心圆图案照到光刻胶上,等光刻胶感光固化后,将没光固化的部分胶溶去,后面再用氢氟酸进行蚀刻,有光固化光刻胶保护的地方,就不会被腐蚀,这样就蚀刻出环形的沟漕,形成一个超微化的菲涅尔透镜。
感觉不像菲涅尔透镜,而是超透镜。
光刻加蚀刻只能做平面上选择性蚀刻,暴露部分变成凹槽,不能做出起伏曲面,本质是二维的。菲涅尔透镜每一圈局部还是一个曲面,本质是三维的,光刻做不了。超透镜是超表面结构,通过亚波长尺度的微纳结构(纳米天线阵列)改变光的相位、振幅和偏振,以此达成成像。不是通过折射而是衍射,所以表面不需弯曲,二维结构,可以用光刻做。